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“第一臺(tái)光刻工具看起來(lái)就像一個(gè)投影儀，”阿斯麥負(fù)責(zé)EUV業(yè)務(wù)的執(zhí)行副總裁克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示，“基本上會(huì)有一個(gè)標(biāo)線，用來(lái)保存你想要投射的影像。然后有一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，它會(huì)把圖像投射到晶圓上。”

到1988年，阿斯麥在美國(guó)擁有5個(gè)辦事處，共有員工84人，并在荷蘭費(fèi)爾德霍芬設(shè)置一個(gè)新的辦事處，該辦公室最終成為該公司總部。

“當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)準(zhǔn)備進(jìn)入EUV研究的早期階段時(shí)，沒有一家美國(guó)公司準(zhǔn)備冒險(xiǎn)嘗試這個(gè)昂貴而有風(fēng)險(xiǎn)的項(xiàng)目，但阿斯麥做出了不同的選擇，”即將出版的《芯片戰(zhàn)爭(zhēng)：世界最關(guān)鍵技術(shù)之戰(zhàn)》一書的作者米勒表示，“阿斯麥?zhǔn)且患液商m公司，但它也是一家嚴(yán)重依賴美國(guó)零部件的荷蘭公司，尤其是在其設(shè)備上。”

“這是政府們的選擇”

EUV光刻機(jī)由來(lái)自全球近800家供應(yīng)商的多個(gè)模塊和數(shù)十萬(wàn)個(gè)零部件組成。每個(gè)模塊都在阿斯麥全球60個(gè)辦公室中進(jìn)行研發(fā)生產(chǎn)，然后運(yùn)往費(fèi)爾德霍芬進(jìn)行組裝。每臺(tái)組裝好的機(jī)器經(jīng)過(guò)測(cè)試后，就會(huì)被拆解，然后發(fā)運(yùn)給芯片制造商。EUV光刻機(jī)的運(yùn)輸需要20輛卡車和三架滿載的波音747飛機(jī)。

中國(guó)大陸是阿斯麥沒有出口EUV技術(shù)的國(guó)家或地區(qū)一?！叭?2個(gè)國(guó)家（《瓦森納協(xié)定》成員國(guó)）已經(jīng)同意對(duì)其實(shí)施出口管制，因?yàn)樗浅ｊP(guān)鍵，”溫彼得稱，“所以這不是我們的選擇，而是政府們的選擇?！?

美國(guó)對(duì)荷蘭政府的施壓早在特朗普任期內(nèi)便已開始。據(jù)時(shí)任美國(guó)總統(tǒng)副國(guó)家安全顧問(wèn)的查爾斯·庫(kù)珀曼（Charles Kupperman）回憶，他2019年曾邀請(qǐng)荷蘭外交官前往白宮，并向后者施壓，稱“忠實(shí)的盟友”不會(huì)向中國(guó)大陸出售EUV這類設(shè)備。庫(kù)珀曼還警告荷蘭方面，如果沒有美國(guó)的零部件，阿斯麥的設(shè)備就無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)，而白宮有權(quán)限制這些零部件向荷蘭出口。

“中國(guó)（大陸）想要加入這場(chǎng)競(jìng)賽，”Semico Research的喬安妮?伊托表示，“但由于政治原因，中國(guó)（大陸）無(wú)法獲得這項(xiàng)技術(shù)?！?

極紫外光刻機(jī)在工作 圖源：阿斯麥

不過(guò)，阿斯麥在用另一種方式和中國(guó)大陸做生意。該公司更新了被稱為深紫外線（DUV）的老式光刻系統(tǒng)，并將其中的許多設(shè)備賣給中國(guó)大陸。溫彼得透露，阿斯麥?zhǔn)鄢龅脑O(shè)備中96%仍在使用。

“關(guān)于向中國(guó)大陸出售更多的DUV設(shè)備，提高其生產(chǎn)接近尖端半導(dǎo)體的能力，是否也是一種‘國(guó)家安全風(fēng)險(xiǎn)’，這其中存在很多爭(zhēng)議，”米勒稱，“我認(rèn)為，在未來(lái)幾年，阿斯麥向中國(guó)出售DUV設(shè)備的能力可能也會(huì)受到新的限制?！?

EUV出現(xiàn)之前，芯片制造商可以從阿斯麥、尼康和佳能三家公司購(gòu)買DUV光刻機(jī)。

雖然日本尼康仍然是光刻機(jī)市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)者之一，但阿斯麥?zhǔn)荅UV的唯一供應(yīng)商。國(guó)外行業(yè)專家認(rèn)為，其他公司可能需要幾十年時(shí)間才能趕上，一方面是因?yàn)榘⑺果湏碛袑Ｓ屑夹g(shù)，另一方面是因?yàn)榘⑺果溑c數(shù)百家供應(yīng)商達(dá)成了復(fù)雜且往往是獨(dú)家的協(xié)議。

“我們對(duì)一些客戶來(lái)說(shuō)是獨(dú)一無(wú)二的，一些供應(yīng)商對(duì)我們來(lái)說(shuō)也是獨(dú)一無(wú)二的，”溫彼得稱，“有些人說(shuō)，這種近乎共生的關(guān)系比結(jié)婚還要糟糕，因?yàn)槟悴荒茈x婚。”

圖源：阿斯麥

今年1月，溫彼得曾針對(duì)中國(guó)大陸市場(chǎng)表示：“中國(guó)不太可能獨(dú)立復(fù)制（replicate）出頂尖的光刻技術(shù)，因?yàn)榘⑺果溡蕾囉诓恍傅膭?chuàng)新，以及整合只有從非中國(guó)供應(yīng)商處才能獲得的零部件。但我的意思并不是絕對(duì)不可能，因?yàn)橹袊?guó)的物理定律和我們這里是一樣的。永遠(yuǎn)別那么絕對(duì)，他們肯定會(huì)嘗試的。”

半導(dǎo)體是一種高風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)，阿斯麥?zhǔn)棺约好馐芄?yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)的一種方式是收購(gòu)一些供應(yīng)商，例如位于美國(guó)圣地亞哥的Cymer，它是EUV大功率光源制造商。阿斯麥還在2020年收購(gòu)了德國(guó)Berliner Glas，這是一家陶瓷和光學(xué)模組制造商，“對(duì)于支持實(shí)現(xiàn)EUV和DUV的產(chǎn)品開發(fā)藍(lán)圖很重要”。今年1月，Berliner Glas曾發(fā)生一場(chǎng)火災(zāi)，但溫彼得表示，這場(chǎng)火災(zāi)不會(huì)對(duì)今年的設(shè)備出貨造成重大影響。

財(cái)報(bào)顯示，阿斯麥2021年總營(yíng)收為186億歐元（約合人民幣1339億元），同比增長(zhǎng)33%；凈利潤(rùn)為59億歐元（約合人民幣425億元），同比增長(zhǎng)66%；毛利率為53%，比上年同期提高4個(gè)百分點(diǎn)。 該公司預(yù)計(jì)，2022年的銷售將增長(zhǎng)20%，未來(lái)10年的年復(fù)合增長(zhǎng)率為11%。